氮化硅结合碳化硅的干燥制度影响，干燥工序中温度和时间对产品质量有较大影响。温度过低或时间过短，都会导致胚体中残留水分，在后续的氮化反应过程中诱发硅粉的氧化反应，从而降低氮化反应效率，影响产品质量。温度升高的快慢也会对产品质量造成影响。温度升高太快不利于对高温环境进行控制，过高的温度会造成胚体表面出现裂纹。氮化工序之前的装窑方式可能对质量造成影响的因素是胚体之间的缝隙间隔。胚体之间应留有一定的空间，为氮气的顺畅渗透填充提供有利条件，避免出现因装窑总量过多导致流硅现象。

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