氮化硅结合碳化硅作为板材的应用是需要工艺加工过程的，其加工过程是将粗、中、细颗粒的SiC及金属Si粉合理搭配，辅以一定量的添加剂和临时结合剂在混料机中充分混合。经闷料后采用一定的成形方式，使坯体达到预定的形状尺寸及合理的密度和强度，烘干去除水分后装人大型氮化炉，在纯净的氮气氛中烧成。使坯体中的金属Si反应生成氮化硅结合相的SiC复合材料。

   氮化硅结合碳化硅作为板材生产工艺流程由si粉在高温下与纯净的氮气发生反应，以SiC为骨架的复合材料制品。该制品在氮化烧成中坯体几乎不收缩，它的致密化是由于si与氮气反应生成。之后有22％的摩尔体积增加。氮化硅结合碳化硅具有相似的化学结构和相似的物理性质，氮化硅把坚硬的碳化硅结合起来，这种结合大大提高了制品的耐高温，抗氧化和抗热震性能，不仅改善了断裂问题还增加了产品的韧性。