氮化硅结合碳化硅板材的生产工艺过程是将粗、中、细颗粒的SiC及金属Si粉合理搭配，辅以一定量的添加剂和临时结合剂在混料机中充分混合。经闷料后采用一定的成形方式，使坯体达到预定的形状尺寸及合理的密度和强度，烘干去除水分后装入大型氮化炉，在纯净的氮气氛中烧成。

使坯体中的金属Si反应生成氮化硅结合相的SiC复合材料。其生产工艺流程如图i所示。Si粉在高温下与纯净的N2发生反应，即：2N2 +3Si—Si3N4,生成的Si3N4与SiC紧密地结合形成以Si3N4为结合相，以SiC为骨架的复合材料制品。该制品在氮化烧成中坯体几乎不收缩，它的致密化是由于扭与N2反应生成的Si3N4之后有22%的摩尔体积增加。氮化硅结合碳化硅具有相似的化学结构和相似的物理性质，氮化硅把坚硬的碳化硅结合起来，这种工艺和性能的有机结合使其制品具有优良的耐髙温性、断裂韧性、抗氧化性及抗热篾性。