反应烧结法和热压烧结法是氮化硅陶瓷制品的生产的两种基本方法。反应烧结法是将硅粉或硅粉与氮化硅粉的混合料按一般陶瓷制品生产方法成型。然后在氮化炉内，在1150~1200℃预氮化，获得一定强度后，可在机床上进行机械加工，接着在1350~1450℃进一步氮化18~36h，直到全部变为氮化硅为止。这样制得的产品尺寸精确，体积稳定。热压烧结法则是将氮化硅粉与少量添加剂（如MgO、Al2O3、MgF2、AlF3或Fe2O3等），在19.6MPa以上的压力和1600~1700℃条件下压热成型烧结。通常热压烧结法制得的产品比反应烧结制得的产品密度高，性能好。在工业上曾普遍采用氯化硅与纯氮在1300摄氏度下反应获得氮化硅。具体的方程式是这样的：D 2 N2+3SiCl4+6H2===高温===Si3N4+12HCL。

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