所谓氮压控制烧成就是
氮化硅结合碳化硅制品在窑炉中氮化烧成时,表现为:在微观上是不断进行的氮与硅的反应,达到一种动态平衡;在宏观上是以氮分压,也就是由窑炉内的N2的消耗量和炉压来控制和检验氮化率,它决定了升温速度。
在氮压控制烧成中,不需要规定严格的升温制度,而是预先设定标准炉压,再根据炉压变化来调整氮化工艺参数。氮化开始时,在一定时间间隔内,如果实测炉压等于控制压时,说明氮化反应稳定进行,炉温不变;如果炉压小于控制压,而炉压连续下降,说明氮化反应剧烈,应将炉温下调;如果炉压上升至大于控制压时,说明氮化反应基本达到平衡,窑炉内开始升温,直到检测到下一次炉压下降,这样的一种循环工艺操作以表象上的准静态、实质上连续的动态平衡可使氮化反应高速进行。
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