氮化硅结合碳化硅有不同结合方式，那么他的简要工艺是：第一种，用粗、中、细碳化硅颗粒和细硅粉成型的坯体，在纯N2气体中，在1370产生一种 以&α-SiC为骨架和以&α和&β-Si3N4。为基质的氮化硅结合碳化硅砖。在基质中尚有少量残留硅和SiO2N2在制品中，这些组分的相对含量随制造工厂不同而异。第二种将SiC、硅粉、炭粉按一定配比，混合、成型，在1400还原气氛中烧成。在大多数情况下采 用埋炭烧成。在烧成过程中，产生一种以&α-SiC为骨架，以细晶粒&β-SiC为基质的&β-Si3N4结合SiC砖。&β-SiC是在烧成过程中，细硅粉与细碳粉反应生成的，这种产品也含有少量残留硅和碳。第三种氧氮化硅结合碳化硅砖：这种砖配料时，细硅粉配比要少于碳化硅。以上是三种不同的方式来生产氮化硅结合碳化硅砖。

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