氮化硅结合碳化硅在氮化烧结环境下，最新的研究认为在烧成反应中存在着间接反应和直接反应。在反应中作为反应的参与者，N2的分压起着极为重要的作用，但不论氮分压的大小如何，只要生产Si3N4，那么在坯体内就存在着N2的浓度梯度和生成Si3N4的浓度梯度，而且这种浓度梯度的方向是相同的，越是接近坯体表面其两个组分的浓度越高。要想反应不断向坯体内部推进就必须确保合适的氮分压和反应温度。在纯Si3N4的氮化烧结中，通常会发生“流硅”反应而使氮化反应受到影响，这是因为氮化反应是一个放热反应，为使反应完全又将Si粉的粒径控制在很小范围内，这样在氮化过程中若控制不当时，供给热量和生成热量叠加而使温度达到了硅的熔点使Si粉熔化而产生所谓的“流硅”现象。在氮化硅结合碳化硅的氮化烧结中，Si粉的浓度含量相对较低，而浓度较高的SiC又有着较大的导热率从而抑制了“流硅”现象的发生。

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