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    坩埚内壁氮化硅涂层的试样制备法(一)

    编辑:隆恩纤维   发布时间:2018-12-18 

       坩埚内壁氮化硅涂层的制备主要有氮化硅粉体共混合烧结法、化学气相沉积法和石英溶胶凝胶,不过普遍存在成本较高、工艺也比较复杂的问题,为了解决这一问题我们经过多方实验找到了脱模效果最佳的氮化硅涂层制备的参数,采用悬浊液的配制是先用离子水、无水乙醇等原料单独或复合使用配置成9中溶液,再在每种溶液中加入质量分数的粉体等多道程序,将配制好的悬浊液搅拌均匀用超声波清洗器震荡30min后,将其均匀喷到坩埚内壁上,在对坩埚内壁烧结处理,再在210摄氏度的干燥箱中放置15min,然后经过600摄氏度马弗炉中放置。

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