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    坩埚内壁氮化硅涂层的制备后的检测

    编辑:隆恩纤维   发布时间:2018-12-25 

          在坩埚内壁氮化硅涂层的制备完成后,将其氮化硅进行检测,由氮化硅的分解和扩散随着保温时间的延长和熔炼温度的升高而加剧,因此高温长时间熔炼比低温短时间熔炼时涂层的分解扩散更充分,实验氮化硅涂层的冶金法是熔炼温度一般在1450-1500摄氏度,所以才选择真空熔炼在氩气保护下熔炼,熔炼时间在2h,然后铸锭脱模后,用天平秤量其重量后用显微镜观察硅铸锭外表面和裂纹形貌,然后用无水乙醇和去离子水反复清洗表面,再次观察表面用SEM随机选择几处测量铸锭外侧铸锭反应层的厚度,求得铸锭与坩埚粘连的百分比,用电子探针检测氮化硅表面和距底面10mm处的化学成分,让氮化硅涂层在坩埚中更好的展现其性能。



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