上一节我们说了几点有关
氮化硅结合碳化硅制品氮化烧结的主要影响因素,今天简单说一下氮化硅结合碳化硅在氮化烧结过程是氮化硅及其复合材料生产的技术关键,经过对氮化硅生成机理的研究,我们确定了产品烧成制度中的氮压控制烧成工艺方法。从上述的机理表述中我们知道氮化硅生成过程是一个放热反应过程,如果单纯从窑炉的外显温度控制,就可能在某一温度点使硅融化而堵塞向制品深层氮化的通道,加大了由表及里的氮化率梯度,所以我们通过对窑炉内氮气分压的控制,来实现对反应速度的控制,可以得到制品从外到里氮化率梯度趋近于零的结果。
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